Wer ist an dem Projekt high-RISE beteiligt?
Projektleitung: Dr. Thomas Rück
Mitarbeiter: Lukas Escher
Worum geht es in Ihrem Forschungsprojekt?
In unserem Projekt geht es darum, Produktionsprozesse in der Halbleiterindustrie besser zu überwachen. Dafür messen wir bestimmte Gase, die während der Herstellung entstehen und Hinweise auf Probleme geben können. So lassen sich Fehler frühzeitig erkennen, noch bevor Schäden entstehen. Ziel ist es, eine Technik zu entwickeln, die später direkt in der Industrie eingesetzt werden kann.
Was begeistert Sie an dem Projekt?
Mich begeistert, dass wir unsichtbare Vorgänge sichtbar machen können. Durch unsere Messungen verstehen wir besser, was im Inneren eines komplexen Produktionsprozesses passiert. Besonders spannend ist, dass wir moderne photoakustische Lasertechnologie mit intelligenter Auswertung kombinieren. Außerdem hat unsere Arbeit direkten Nutzen für die Industrie und kann helfen, Ressourcen zu sparen. Es motiviert, an einer Lösung zu arbeiten, die später wirklich eingesetzt wird.
Wie können Erkenntnisse aus dem Projekt Anwendung in der Praxis finden?
Die Ergebnisse helfen dabei, Fehler in der Produktion früher zu erkennen und zu vermeiden. Das spart Material, Zeit und Kosten. Die Technik kann direkt in Fertigungsanlagen eingebaut werden und dort kontinuierlich mitlaufen. So werden Prozesse zuverlässiger und effizienter. Ähnliche Messverfahren könnten später auch in der Umweltüberwachung oder Energietechnik eingesetzt werden.
Antworten von Dr. Thomas Rück, OTH Regensburg
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