Allgemeine Chemie, Halbleiterchemie, Ätztechnologie und Analytik

Laborleitung:
Prof. Dr. Alfred Lechner
T116 (Seybothstr. 2, Laborgebäude Mikrosystemtechnik)
Tel.: +49-941-943-1271
e-mail: alfred.lechner(at)oth-regensburg.de

Labormitarbeiter:
Chemie-Meister Manfred Röhrl
Tel.: +49-941-943-1290
e-mail: manfred.roehrl(at)oth-regensburg.de

Labormitarbeiter:
Dipl.-Ing. (FH) Frank Steckler
Tel.: +49-941-943-1289
e-mail: frank.steckler(at)oth-regensburg.de

Labor Allgemeine Chemie:Das Labor Allgemeine Chemie dient der praktischen Ausbildung in der Allgemeinen Chemie. Es ist ein konventionelles Chemielabor ohne Reinluft. In diesem Labor sind die klassischen chemischen Arbeiten möglich. Z. b. Titration, pH-Wert-Bestimmung, Kalorimetrie, Gravimetrie,...
Reinraumlabor Analytik:Das Labor Analytik dient der praktischen Ausführung der wesentlichen chemischen analytischen Verfahren zur Bestimmung der ionischen und partikulären Kontaminationen in Chemikalien, Wasser, Luft, Abwässer und auf Halbleiter-Scheiben. Diese Analysen erfolgen bis in den ppb-Bereich (parts per billion).
Reinraumlabor Nasschemie und Mikrotechnologie:Entwicklung verschiedener Ätztechniken (z. B. homogene Rückseitenätzung unterschiedlicher Dicken, auch einige 100 Mikrometer; Ozonätztechniken...)

Messgeräteausstattung

  1. UV/VIS Spektrometer
  2. Fouriertransformiertes Infrarotspektrometer (FT-IR)
  3. Atomabsorptionsspektrometer (AAS)
  4. IKA-Kalorimetersystem C 4000 A adiabatisch
  5. Epifluoreszenz, Partikelmeßung (Nomura Science), Olympus Mikroskop
  6. Gaschromatograph mit Massenspektrometer
  7. Ellipsometer
  8. Megasonicmessgerät (ARGUS)
  9. Elymat
  10. Ionenchromatograph
  11. Ramanspektroskop (Mikroraman, Stressmessung von Mikrostrukturen)
  12. Atomares Kraft Mikroskop (AFM)
  13. Tencor-Profilometer (Profilmessung, Rauigkeitsmessung, Stressmessung
    über einen gesamten 8"-Wafer)

Nassätzanlagen

  1. Spinetcher
  2. Wetbench
  3. Ozongenerator
  4. Megasonic
  5. HF-Ozon-Trockner

Skripten

  1. Chemikalien in der Halbleitertechnologie
  2. Gase in der Halbleitertechnologie
  3. Nasschemie
  4. Vorlesung physikalische Chemie für Mikrosystemtechniker
  5. Sicherheit im Labor
  6. Übungen zur physikalischen Chemie für Mikrosystemtechniker

Praktika

  1. Chemiepraktikum für Mikrosystemtechniker
  2. Praktikum zu den Übungen zur physikalischen Chemie für Mikrosystemtechniker
  3. Spurenanalytik auf Siliciumscheiben
  4. Gaschromatographie-Praktikum zur Umweltmeßtechnik

Sonstige Ausstattung

  1. MOPLO - Ein elektroniser Molekülbaukausten
  2. IR TUTOR - multimediale Lernsoftware zur IR-Spektroskopie
  3. ChemOffice Ultra - eine Trial Version steht zur Verfügung

Prof. Dr. Alfred Lechner

Laufende Projekte:

  • Evaluierung und Optimierung eines Online-Messgerätes zur Bestimmung von Ionen im sub-ppm-Bereich
  • Miniatusierung einer Messzelle für die Bestimmung von Ionen in wässrigen Lösungen
  • Stressmessung von PECVD-Schichten mittels Raman-Spektroskop
  • Untersuchung von Ätzresten mittels Raman-Spektroskopie

Abgeschlossene Projekte:

  • Rückseitenätzung von Si für die Sensorik
  • Evaluierung und Optimierung eines Megasonic-Messgerätes auf Basis der Sonolumineszenz
  • Evaluierung eines HF-Ozon-Trockners für strukturierte Scheiben
  • Entwicklung und Bau eines Belackers für hohe topograpfische Strukturen
  • Entwicklumg eines neuen Polierverfahrens für Si-Wafer
  • Optimierung einer Anlage für Gasphasenätzen