Elektronenoptische und Optoelektronische Systeme

Im Forschungcluster LEOS beschäftigen wir uns mit der Realisierung, Charakterisierung und Anwendung von halbleiterbasierten Sensor- und Aktorelementen sowie mit laserbasierten Technologien zur Bearbeitung und Strukturierung verschiedenster Materialien in Kooperation mit Forschungsinstituten und Industriepartnern. Neben einem voll ausgestatteten Reinraumlabor stehen modernste Herstellungsmethoden der Lasermikrostrukturierung und Mikrodrucktechniken dafür zur Verfügung. Wir bieten Ihnen kompetentes Know-how für anwendungsorientierte Forschung in den Bereichen Halbleitertechnik, Mikrosystemtechnik, Optoelektronik, Mikromaterialbearbeitung und Mikrosensorik.

Ziele / Schwerpunkte

Fakultäts- und hochschulübergreifend sowie in Kooperation mit unseren industriellen Partner soll eine Symbiose zwischen grundlagenorientierter und anwendungs­naher Forschung geschaffen und die Querschnittstechnologien Sensorik und Digitalisierung im Forschungsprofil der OTH Regensburg gestärkt werden. 

Kooperationen

Probenmessaufbau
Probenmessaufbau

Wir freuen uns über Kooperationen mit der Industrie, Hochschulen sowie Master- und Bachelorstudieren­den. Bei Fragen können Sie jederzeit mit unseren An­sprechpartnern Kontakt aufnehmen.

    Akademische Kooperationspartner:

    • Bergische Universität Wuppertal
    • Europäische Organisation für Kernforschung (CERN)
    • Fraunhofer ITEM 
    • Institute of Scientific Instruments (ISI) Brno
    • Institut Jožef Stefan Ljubljana
    • Leibnitz-Institut für Plasmaforschung und Technologie Greifswald
    • Leibniz Universität Hannover
    • Technische Universität Braunschweig
    • Technische Universität Berlin
    • Technologiecampus Teisnach (TH Deggendorf)
    • Universität Augsburg
    • Universität Regensburg
    • University of Tokyo

    Industrielle Kooperationspartner:

    • Airbus SE
    • Dr. Sellmair NanoElektroTechnik GmbH
    • KETEK GmbH
    • OSRAM Opto Semiconductors GmbH
    • Rohde & Schwarz GmbH & Co. KG
    • Thyracont GmbH
    • Vitesco Technologies GmbH 

    Forschungsthemen

    • Mikro- und Nanostrukturen, optoelektronische und elektronenoptische Systeme - Prof. Dr. Rupert Schreiner (OTH Regensburg)
    • Vakuumnanoelektronik, Feldemissionselektronenquellen (Übersichtsartikel) – Prof. Dr. Rupert Schreiner (OTH Regensburg)
    • Gas-, Druck- und Strömungssensorik - Prof. Dr. Rupert Schreiner, Prof. Dr. Ioana Serban (OTH Regensburg)
    • Laserprozesstechnik - Prof. Dr. Peter Bickel (OTH Regensburg), Prof. Dr. Jürgen Koch (OTH Amberg-Weiden)
    • Messung von optischen Eigenschaften - Prof. Dr.-Ing. Roland Schiek (OTH Regens­burg)

    Aktuelle Themen für Bachelor- und Masterarbeiten

     

     

    Aktuelle FuE-Projekte

    Hochempfindliche miniaturisierte thermische Sensorelemente und darauf basierende Messverfahren für Anwendungen in der Vakuum-, Gas und Inertialsensorik (NEOVAK)

    Ziel des Projekts NEOVAK ist es, miniaturisierte thermische Sensorelemente zu entwickeln, mit denen der gesamte technische Vakuumbereich von 10-6 mbar bis Atmosphärendruck messtechnisch genau und zuverlässig mit nur einem einzigen Element erfasst werden kann. Bislang müssen thermische Vakuumsensoren (sog. „Pirani“-Sensoren) gemeinsam mit weiteren Sensoren zu einem System kombiniert werden, um den gesamten Messbereich erfassen zu können. Indem geeignete miniaturisierte Sensorelemente realisiert und mit dynamischen Messverfahren kombiniert werden, wird dies künftig nicht mehr nötig sein. Die Technologie, die hier entwickelt wird, verspricht darüber hinaus weitere interessante Anwendungsmöglichkeiten in der Gas- und der Lage- und Bewegungssensorik.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, Thyracont Vacuum Instruments GmbH


    Forschungsaktivitäten mit der Firma ams Osram

    In zwei Projekten mit der Firma ams Osram sollen einerseits neue Konzepte für LEDs untersucht und entwickelt werden, und andererseits Alterungseffekte an optischen Bauteilen untersucht werden. Ziel ist es ein tieferes Verständnis zur Degradation von Halbleiterlasern zu gewinnen. Dazu wird ein experimenteller Aufbau entwickelt, der es ermöglicht dies unter verschiedenen Umgebungsbedingungen zu untersuchen.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, ams-OSRAM AG 


    Entwicklung von Röntgenquellen basierend auf Black-Silicon Feldemissionskathoden (SI-FE-X)

    Messverfahren basierend auf Röntgenstrahlung sind ein wichtiges Instrument zur zerstörungsfreien Materialanalyse oder auch der medizinischen Diagnose. Zur Erzeugung der Röntgenstrahlung werden in derzeitigen Systemen thermische Elektronenquellen eingesetzt. Ziel des Vorhabens, ist es diese durch Si-basierte Feldemissionselektronenquellen zu ersetzen, um eine spätere Integration zusammen mit Si Röntgen-Drift-Dektektoren zu einem miniaturisierten System zu ermöglichen. Kernbestandteil ist eine mittels Si-Halbleitertechnologie zu realisierende Feldemissionskathode mit mit einer hohen Emitterdichte bei gleichzeitig hohen Aspektverhältnis und homogener Verteilung. Da es bislang kein geeignetes Messverfahren gibt, mit dem die Stromaufteilung auf die einzelnen Emitter während des Betriebs in Echtzeit bestimmt werden kann soll im Vorhaben eine geeignete Messmethode entwickelt werden, die dann die Grundlage für die Homogenisierung der Emission des FE-Arrays sowohl bei der Herstellung, als auch durch eine geeignete Konditionierung im Betrieb bildet. Der vakuumdichte Verschluss der Röntgenquelle und die Aufrechterhaltung des Druck von besser als 10-5 mbar in dem kleinen Volumen des Chipgehäuses über die ganze Lebensdauer von mindestens 2000h ist eine weitere Herausforderung. Durch Integration eines miniaturisierten Vakuumsensors in das Gehäuse, sollen der Lötprozess und weitere Maßnahmen zur Aufrechterhaltung des Vakuums im Chipgehäuse untersucht und verbessert werde.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, Ketek GmbH


    Neue Materialien in der additiven Fertigung (BTHA-FV9)

    Laseradditive Fertigungsverfahren stoßen, nicht zuletzt aufgrund der Möglichkeiten, Ziele der Industrie 4.0 umzusetzen, branchenübergreifend auf hohes Interesse. Derzeit ist die Nutzung dieser Technologie allerdings überwiegend der Großindustrie vorbehalten, da diese über die finanziellen Mittel verfügen, die benötigten Anlagen anzuschaffen. Im Forschungsprojekt „Neue Materialen in der additiven Fertigung“ wird diesen Umständen durch eine grenzüberschreitende Zusammenarbeit verschiedener Forschungseinrichtungen Rechnung getragen. Zwei Universitäten der Tschechischen Republik arbeiten mit dem Fraunhofer Institut UMSICHT und unserer Forschungsgruppe an der OTH Amberg-Weiden an der grundlegenden Erforschung und Weiterentwicklung laserbasierter additiver Fertigungsverfahren. Im Zuge des Projekts sollen neue Materialien gefunden werden, die sich im beschriebenen Verfahren verarbeiten lassen.

    Kooperationspartner: OTH Amberg-Weiden, Fraunhofer Institut UMSICHT, Universität Pilsen, Technische Universität Ostrava


    Grenzübergreifende Forschungen zur additiven Fertigung (Ziel-ETZ Projekt 185 3D-COVER)

    Der „3D-Druck“ von metallischen Teilen ist eine Technologie mit hohen Erwartungen für die künftige Herstellung. Im hier vorgestellten Projekt wird ein internationales Forschungsteam gebildet, welches sich mit komplexen Problemen der Materialforschung beschäftigen wird. Ziel des Projekts ist, die mit der LPBF-Technologie (Laser Powder Bed Fusion) hergestellten Werkstoffe zu beschreiben und diese mit den konventionell hergestellten Werkstoffen zu vergleichen. Die LPBF-Technologie ermöglicht die Herstellung von Originalteilen, Prototypen und Proben mit komplizierter Geometrie, die schwierig mit konventionellen Methoden herstellbar sind. Abgesehen von der Veränderung des Konstruktions-verfahrens muss noch beantwortet werden, welche Eigenschaften die so hergestellten Teile haben und inwiefern sich diese von konventionell hergestellten Teilen unterscheiden. Stufenweises Auftragen dünner Schichten von Metallpulver, welche mittels Laserstrahl verschmolzen werden, verursachen hohe Temperaturgradienten, die Quellen von Eigenspannungen sind. Die Wahrscheinlichkeit anisotroper Werkstoffeigenschaften ist hoch. Daher gilt es zusätzlich, die im Prozess auftretenden Veränderungen der Eigenschaften zu verstehen und zu charakterisieren. Auch thermo-physikalische Eigenschaften sollen Gegenstand der Forschung sein. Die Zusammenarbeit zwischen tschechischen und bayerischen Forschungseinrichtungen ist auch hier maßgebend für den Erfolg des Ziel-ETZ Projekts 3D Cover, welches hochschulseitig von der OTH Amberg-Weiden betreut wird.

    Kooperationspartner: OTH Amberg-Weiden, Fraunhofer UMSICHT, COMTES FHT a.s.

    Abgeschlossene FuE-Projekte

    Miniaturisierte, elektrisch-pulsbare Feldemissionselektronenquelle mit gerin­ger Stromfluktuation für die Anwendung in einem Ionisationsvakuummeter (FEMION)

    Herkömmliche Ionisationsvakuummeter funktionieren nach dem Prinzip der Glüh­emis­sion. Dabei führen die durch das Erhitzen eines Drahtes emittierten Elektronen zur Ioni­sa­tion der im Vakuum verbliebenen Restgasteilchen; so wird ein Ionenstrom mess­bar. Diese Glühkathode hat jedoch beträchtliche Nachteile: Sie kann nicht gepulst be­trie­ben werden, hat einen hohen Energiebedarf und eine geringe Lebensdauer. Deshalb soll bei FEMION die Glühkathode durch eine Feldemissionselektronenquelle mit einer Betriebs­spannung von weniger als 300 V ersetzt werden. Ein vereinfachtes Herstel­lungs­verfahren soll zudem die Kosten senken. Grundsätzlich basiert der FEMION-Ansatz auf der Feld­emission aus Halbleitern, insbesondere auf dem vergleichsweise preiswerten Sili­zium.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, Thyracont Vacuum Instruments GmbH, University of Eastern Finland


    Entwicklung eines Flugzeit-Ionenmobilitätspektrometers mit einer miniaturisierten schnell pulsbaren Feldemissionselektronenquelle (FE-ToF-IMS)

    Ionenmobilitätsspektrometer (IMS) werden aufgrund der hohen Empfindlichkeit, kurzen Messzeit und guten Trennleistung in vielen sicherheitstechnischen Anwendungen eingesetzt. Allerdings lassen sich durch chemische Querempfindlichkeiten nicht alle Substanzen sicher detektieren (falsch negativ). Ein prominentes Beispiel ist der Nachweis von Benzol bei Anwesenheit von Toluol. Zudem ist eine Substanzidentifikation nicht immer möglich (falsch positiv). Mit dem hier vorgeschlagenen Verfahren einer gepulsten Ionisation sollen beide Probleme behoben werden. Grundlage ist die Entwicklung eines baukleinen IMS mit einer miniaturisierten, schnell pulsbaren, nicht-radioaktiven Elektronenquelle auf Basis von Feldemissionskathoden, die sich durch einen geringen Energiebedarf auszeichnen, wie für den tragbaren Einsatz erforderlich. Substanzen wie Benzol können so trotz Anwesenheit von Toluol ohne zeitliche Vortrennung direkt detektiert werden. Durch eine variable Verzögerungszeit zwischen Ionisation und Aufnahme des Spektrums lässt sich zudem die ionenspezifische Lebensdauer als orthogonaler Analyseparameter einführen. Damit kann die Sicherheit bei der Substanzidentifikation weiter erhöht werden.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, Leibniz Universität Hannover, Ketek GmbH


    Enabling Laminar Wing Technology (ELWIT)

    Das Projekt ELWIT hat zum Ziel, einen MEMS-Demonstrator zur aerodynamischen Grenzschichtbeeinflussung zu entwickeln. Der Prototyp soll elektrisch über den Effekt des Ionenwindes oder einer
    Plasmaentladung ausreichend stark Luft bewegen können. Es soll eine gegen Umwelteinflüsse (Feuchtigkeit, mech. Festigkeit, Staub) robuste und langlebige Elektrodenstruktur gefunden werden. Diese Konstruktion soll bei Verkehrsflugzeugen die Strömungsverhältnisse positiv beeinflussen und somit zu einer Treibstoffersparnis führen.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, INP Greifswald, Hochschule Bremen, Airbus D&S, Universität der Bundeswehr München


    Neuartige schnell schaltbare optisch induzierte Feldemissionselektronenquellen für Anwendungen in der Vakuum- und Gassensorik (Femtovak)

    Ziel des Vorhabens war die Realisierung einer schaltbaren optisch unterstützten Elektro­nen­quelle in Dioden- sowie Triodenanordnung aus Silizium für Anwendungen in der Va­kuum- und Gassensorik. Neben den zu erwartenden Vorteilen der Feldemission im Ver­gleich zur Glühemission, wie z.B. eine geringere Stoßanfälligkeit, oder eine verbes­ser­te Auflösung bei der Druckbestimmung durch die monoenergetischere Elektro­nen­emis­sion würde eine zeitlich schnell modulierbare Elek­tro­nenquelle eine Reihe von wei­ter­gehen­den dynamischen Untersuchungen ermöglichen. Im Projekt wurden sowohl die Elek­tronenquelle, als auch ein darauf basierender Ionisationsvakuumsensor in enger Koope­ration mit unseren Projektpartnern entwickelt.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, Bergische Universität Wuppertal, Thyracont Vacuum Instruments GmbH

    Entwicklung einer Feldemissions-Röntgenquelle für die Röntgenfloureszenzanalyse (FEXRay)

    Es wird die Möglichkeit untersucht, die thermische Elektronenquelle von Röntgenröhren durch miniaturisierte Feldemissionselektronen- quellen aus Silizium zu ersetzen. Geeignete FE-Kathoden sollen mit einem mikrotechnologischen Prozess hergestellt und charakterisiert werden. Nach Integration in ein zu konstruierendes Gehäuse, incl. Röntgentarget, werden die Kenngrößen der Röntgenquelle vermessen. Falls derartige Quellen die Anforderungen erfüllen, ist eine Chip-Level-Integration z.B. in SDD-Röntgendetektoren möglich.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, Bergische Universität Wuppertal, Ketek GmbH


    Entwicklung eines neuartigen gasartunabhängigen Sensorsystems für den gesamten technischen Vakuumbereich (NOVAVAK)

    Bei dem geplanten Vorhaben „NOVAVAK“ handelt es sich um ein anwendungsorientiertesForschungsprojekt auf dem Gebiet der Vakuumtechnik, die ein wichtiges
    Teilgebiet der Sensortechnik darstellt. Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Entwicklung und die Realisierung eines neuartigen gasartunabhängigen Sensorsystems für den gesamten technischen Vakuumbereich basierend auf den Möglichkeiten der Mikrosystemtechnik.

    Kooperationspartner: OTH Regensburg, Thyracont Vacuum Instruments GmbH

    Ausgewählte Veröffentlichungen ab 2016

    Abgeschlossene Dissertationen

    Robert Ławrowski "Halbleiternanostrukturen als Feldemissionskathoden für miniaturisierte Elektronenquellen" In Kooperation mit der Technischen Universität Braunschweig (2021) [DOI]

    Christian Prommesberger "Entwicklung einer Feldemissionselektronenquelle basierend auf Siliziumstrukturen für den Einsatz in einer miniaturisierten Röntgenquelle" In Kooperation mit der Christian-Albrecht-Universität zu Kiel (2019) [ISBN]

    Florian Dams "Mikrotechnologische Strukturen zur Bestimmung druckabhängiger Gaseigenschaften für Anwendungen in der Vakuummesstechnik" In Kooperation mit der Christian-Albrecht-Universität zu Kiel (2015) [PDF]


    Journalbeiträge

    Prof. Dr.-Ing. Schiek

    R. Schiek "The excitation of nonlinear beams: from the Talbot effect through modulation instability to Akhmediev breathers," Opt. Express 29, 425626 (2021). [DOI]

    R. Schiek, F. Baronio, “Spatial Akhmediev breathers and modulation instability growth-decay cycles in a
    quadratic optical medium,” Phys. Rev. Research 1, 032036(R) (2019). [DOI]

    F. Setzpfandt, A. S. Solntsev, J. Titchener, C. W. Wu, C. Xiong, R. Schiek, T. Pertsch, D. N. Neshev, and A. A. Sukhorukov, “Tunable generation of entangled photons in a nonlinear directional coupler“ in Laser & Photonics Review 10(1), pp. 131-137 (2016). [DOI]

    Prof. Dr.-Ing. Koch

    T. Simson, J. Koch, M. Zetek, I. Zetková "Corrosion Resistance of 18Ni-300 maraging steel manufactured by LPBF," IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng 1178 012051 (2021) [DOI]

    M. Koukolíková, V. Brunát, G. Wolf, T. Simson, J. Koch "Advanced techniques applied to analyse the influence of the heat treatment on the mechanical properties, microstructure and texture of additively produced components from maraging steel," IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng 1178 012031 (2021) [DOI]

    T. Simson, J. Koch, J. Rosenthal, M. Kepka, M. Zetek, I. Zetkova, G. Wolf, P. Tomcik, J. Kulhanek „Mechanical Properties of 18Ni-300 maraging steel manufactured by LPBF“. Procedia Structural Integrity 17, 843-849 (2019) [DOI]

    T. Hrbácková, T. Simson, J. Koch, G. Wolf "The effect of heat treatment on mechanical properties and microstructure of additively manufactured components," IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng 461 012026 (2018) [DOI]

    Prof. Dr. Schreiner

    C. Langer, D. Berndt, R. Schreiner "Sensitivity of thermal conductivity vacuum gauges for constant current and constant temperature operation" Journal of Vacuum Science and Technology B 40, 054203 (August 2022) [DOI]

    R. Ławrowski, M. Bachmann, R. Schreiner "Field emission arrays from graphite fabricated by laser micromachining" Journal of Vacuum Science and Technology B 40, 023203 (January 2022) [DOI]

    M. Bachmann, F. Düsberg, A. Pahlke, S. Edler, A. Schels, F. Herdl, R. Ławrowski, R. Schreiner "High current silicon nanowire field emitter arrays". Journal of Vacuum Science and Technology B 40, 010605 (January 2022) [DOI]

    D. Berndt, J. Muggli, R. Heckel, M.F. Rahiman, M. Lindner, S. Heinrich, H. Plöchinger, R. Schreiner "A Robust Miniaturized Gas Sensor for H2 and CO2 Detection Based on the 3ω Method". Sensors 22(2) 485 (January 2022 [DOI]

    A. Schels, S. Edler, F. Herdl, W. Hansch, M. Bachmann, D. Ritter, M. Dudeck, F. Düsberg, M. Meyer, A. Pahlke, M. Hausladen, P. Buchner, R. Schreiner "In situ quantitative field emission imaging using a low-cost CMOS imaging sensor". Journal of Vacuum Science and Technology B 40, 014202 (January 2022) [DOI]

    S. Edler, A. Schels, F. Herdl, W. Hansch, M. Bachmann, M. Dudeck, F. Düsberg, A. Pahlke, M. Hausladen, P. Buchner, R. Schreiner "Origin of the current saturation level of p-doped silicon field emitters". Journal of Vacuum Science and Technology B 40, 013203 (January 2022) [DOI]

    M. Lindner, A.V. Pipa, N. Karpen, R. Hink, D. Berndt, R. Foest, E. Bonaccurso, R. Weichwald, A. Friedberger, R. Caspari, R. Brandenburg, R. Schreiner "Icing Mitigation by MEMS-Fabricated Surface Dielectric Barrier Discharge". Applied Sciences 11(23), 11106 (December 2021) [DOI]

    M. Remskar, A.K. Hüttel, T.V. Shubina, A. Seabaugh, S. Fathipour, R. Ławrowski, R. Schreiner "Confinement related phenomena in MoS2 tubular structures grown from vapour phase". Israel Journal of Chemistry (December 2021) [DOI

    R. Ławrowski, M. Hausladen, P. Buchner, and R. Schreiner "Silicon Field Emission Electron Source with Individually Controllable Single Emitters". IEEE Transactions on Electron Devices (2021) [DOI]

    D. Berndt, J. Muggli, F. Wittwer, C. Langer, S. Heinrich, T. Knittel, and R. Schreiner "MEMS-based thermal conductivity sensor for hydrogen gas detection in automotive applications". Sensors and Actuators A 305, 111670 (April 2020) [DOI]

    R. Ławrowski, L. Pirker, K. Kaneko, H. Kokubo, M. Bachmann, T. Ikuno, M. Remskar, and R. Schreiner "Field emission from nanotubes and flakes of transition metal dichalcogenides". Journal of Vacuum Science and Technology B 38, 032801 (March 2020) [DOI]

    M. Bachmann, F. Düsberg, C. Langer, F. Herdl, L. Bergbreiter, F. Dams, N. Miyakawa, T. Eggert, A. Pahlke, S. Edler, C. Prommesberger, R. Ławrowski, M. Hausladen, and R. Schreiner "Vacuum-sealed field emission electron gun". Journal of Vacuum Science and Technology B 38, 023203 (February 2020) [DOI]

    C. Langer, V. Bomke, M.Hausladen, R. Ławrowski, C.Prommesberger, M.Bachmann, and R. Schreiner. „Silicon Chip Field Emission Electron Source Fabricated by Laser Micromachining“. Journal of Vacuum Science & Technology B 38, Nr. 1, (January 2020). [DOI]

    V. I. Kleshch, P. Serbun, D. Lützenkirchen-Hecht, A.S. Orekhov, V.E. Ivanov, C. Prommesberger, C. Langer, R. Schreiner, A.N. Obraztsov "A Comparative Study of Field Emission from Pristine, Ion-treated and Tungsten Nanoparticle-decorated p-type Silicon Tips" Physica Status Solidi B 1800646, March 2019. [DOI]

    J. Bieker, F. Rousaie, H.F. Schlaak, C. Langer, R. Schreiner, M. Lotz, S. Wilfert "Field emission characterization of in situ deposited gold nanocones with variable cone densities" Journal of Vacuum Science and Technology B 36(2): 02C105, Sep. 2018. [DOI]

    J. Breuer, M. Bachmann, F. Düsberg, A. Pahlke, S. Edler, C. Langer, C. Prommesberger, R. Ławrowski, P. Serbun, D. Lützenkirchen-Hecht "Extraction of the current distribution out of saturated integral measurement data of p-type silicon field emitter arrays" Journal of Vacuum Science and Technology B 36(2):051805, Jan. 2018. [DOI]

    C. Prommesberger, M. Bachmann, F. Düsberg, C. Langer, R. Ławrowski, M. Hofmann, A. Pahlke and R. Schreiner "Regulation of the Transmitted Electron Flux in a Field-Emission Electron Source Demonstrated on Si Nanowhisker Cathodes. " IEEE Transactions on Electron Devices, 64.12 (2017): 5128-5133. [DOI]

    S. Edler, M. Bachmann, J. Breuer, F. Dams, F. Düsberg, M. Hofmann, J. Jakšič, A. Pahlke, C. Langer, R. Ławrowski, C. Prommesberger and R. Schreiner "Influence of adsorbates on the performance of a field emitter array in a high voltage triode setup." Journal of Applied Physics 122, 124503, Sept. 2017. [DOI]

    M. Bachmann, F. Dams, F. Düsberg, M. Hofmann, A. Pahlke, C. Langer, R. Ławrowski, C. Prommesberger, R. Schreiner, P. Serbun, D. Lützenkirchen-Hecht and G. Müller. "Extraction of the characteristics of current-limiting elements from field emission measurement data,"Journal of Vacuum Science & Technology B, 35(2):02C103, Dec 2016. [DOI]

    C. Prommesberger, C. Langer, R. Ławrowski, R. Schreiner."Investigations on the long-term performance of gated p-type silicon tip arrays with reproducible and stable field emission behavior "Journal of Vacuum Science & Technology B, 35(1):012201, Dec 2016. [DOI]

    S,. Mingels, V. Porshyn, C. Prommesberger, C. Langer, R. Schreiner, D. Lützenkirchen-Hecht, G. Müller "Photosensitivity of p-type black Si field emitter arrays" Journal of Applied Physics 119(16) p. 165104, April 2016. [DOI]

    C. Langer, C. Prommesberger, R. Ławrowski, R. Schreiner, P. Serbun, G. Müller, F. Düsberg, M. Hofmann, M. Bachmann, and A. Pahlke."Field emission properties of p-type black silicon on pillar structures,"Journal of Vacuum Science & Technology B, 34(2):02G107, March 2016. [DOI]


    Konferenzbeiträge

    Prof. Dr.-Ing. Koch

    T. Simson et al. "Mechanical Properties of 18Ni-300 maraging steel manufactured by LPBF" in ISIC2019, Madeira, Portugal, 2019

    T. Hrbáčková, T. Simson, J. Koch, G. Wolf „The effect of heat treatment on mechanical properties and microstructure of additively manufactured components” in IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering 461, Pilsen, Tschechische Republik (2018) 

    Prof. Dr.-Ing. Schiek

    R. Schiek "Parameter Scans for Characterization of Nonlinear Beam Propagation, Nonlinear Optics 2021 Hawaii (Virtual), 
       Optical Society of America, August 2021.

    R. Schiek "On the experimental excitation of modulation instability and Akhmediev breathers" 13th Chaotic Modeling and Simulation International Conference Chaos 2020, Florence Virtual, June 2020.

    R. Schiek, F. Baronio “Spatial Akhmediev Breathers in Slab Waveguides,” CLEO Europe, EPS, OSA, IEEE,
    München 2019. 

    R. Schiek, F. Setzpfandt, F. Baronio “Akhmediev Breathers and Modulation Instability Growth-Decay Cycles in
    Slab Waveguides,” NLO Conference, OSA, Kona Hawaii 2019. [DOI]

    R. Schiek et al. "Rogue Waves in Optical Film Waveguides" in XIV International Workshop Nonlinear Optics Applications NOA 2018, Breslau, Polen [DOI]

    R. Schiek et al. "Measurement of quadratic and cubic optical nonlinear susceptibilities in glass and lithium niobate" in Collaborative Conference on Material Research 2018, Seoul, Korea

    R. Schiek et al. "Akhmediev Breathers in Optical Film Waveguides" in Workshop Emerging Trends in Nonlinear Optics 2018, Brescia, Italien

     

    Prof. Dr. Schreiner

    M. F. Rahiman, D. Berndt, R. Schreiner "Micro-wire Pirani with temperature-stabilized Environment" in 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2022, Landshut, Germany, April 2022 

    R. Schreiner "Miniaturized sensor and actuator elements based on the heat transport in gases or the ionization of gas particles" in 16th International Conference on Optical and Electronic Sensors COE2020, Krakow, Poland, September 2021

    M. M. Allaham, P. Buchner, R. Schreiner, A. Knápek "Testing the performance of Murphy-Good plots when applied to current-voltage characteristics of Si field electron emission tips"  in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2021 34th International, 2021 [DOI]

    F. Herdl, M. Bachmann, D. Wohlfartsstätter, F. Düsberg, M. Dudek, M. Eder, M. Meyer, A. Pahlke, S. Edler, A. Schels, W. Hansch, R. Schreiner "A novel current dependent field emission
    performance test" in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2021 34th International, 2021 [DOI]

    A. Schels, S. Edler, W. Hansch, M. Bachmann, F. Herdl, F. Düsberg, M. Eder, M. Meyer, M. Dudek, A. Pahlke, R. Schreiner "Current dependent performance test used on different types of silicon field emitter arrays"  in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2021 34th International, 2021 [DOI]

    P. Buchner, V. Bomke, M. Hausladen, S. Edler, M. Bachmann, R. Schreiner "Investigation on the Emission Behaviour of p-doped Silicon Field Emission Arrays with Individually Controllable Single Tips" in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2021 34th International, 2021 [DOI]

    R. Ławrowski, M. Bachmann, R. Schreiner "Field Emission Arrays from Graphite Fabricated by Laser Micromachining" in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2021 34th International, 2021 [DOI]

    M Hausladen, V. Bomke, P. Buchner, M. Bachmann, A. Knápek, R. Schreiner "Influence of Geometrical Arrangements of Si Tip Arrays Fabricated by Laser Micromachining on their Emission Behaviour" in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2021 34th International, 2021 [DOI]

    R. Ławrowski, M. Hausladen, R. Schreiner "Individually Addressable Fully Integrated Field Emission Electron Source Fabricated by Laser Micromachining of Silicon” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2020 33th International, 2020, pp. 1-2 [DOI]

    R. Ławrowski, R. Schreiner, S. Linghu, F. Gu "Field Emission Behaviour of Single-Crystal Pd Nanowires” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2020 33th International, 2020, pp. 1-2 [DOI]

    M. Lindner, D. Berndt, K. Tschurtschenthaler, B. Jungbauer, I. Ehrlich, R. Schreiner, A.V. Pipa, R. Hink, R. Foest, R. Brandenburg, D. Neuwirth, N. Karpen, E. Bonaccurso, R. Weichwald, A. Max, R. Caspari "Aircraft Icing Mitigation by DBD-based Micro Plasma Actuators" in AIAA Aviation 2020 Forum [DOI]

    M. Hausladen, R. Ławrowski, R. Schreiner "FAST PULSE SOURCE FOR FIELD EMISSION APPLICATIONS" in 7th ITG Int. Vac. Electronics Workshop (IVEW) 2020 & 13th Int. Vac. Electron Sources Conf. (IVeSC) 2020, Bad Honnef, Germany, May 2020

    R. Ławrowski, M. Hausladen, R. Schreiner "INDIVIDUALLY ADDRESSABLE SILICON FIELD EMISSION CATHODES
    FABRICATED BY LASER MICROMACHINING" in 7th ITG Int. Vac. Electronics Workshop (IVEW) 2020 & 13th Int. Vac. Electron Sources Conf. (IVeSC) 2020, Bad Honnef, Germany, May 2020

    T. Silberbauer, M. Lindner, R. Schreiner "Charakterisierung der dielektrischen Barrierenentladung von Mikroplasmaaktuatoren in Abhängigkeit der Substratdicke" in 2. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2020, Landshut, Germany, April 2020 [URN]

    C. Wendt, E. Bunert, M. Bachmann, F. Düsberg, S. Edler, C. Langer, R. Ławrowski, M. Hausladen, R. Schreiner, S. Zimmermann "New non-radioactive field emission based electron source for electron capture detectors", 14. Sensor-Symposium Dresden, pp. 40-43, Dresden, Germany, December 2019

    K. Tschurtschenthaler, L. Krenkel, and R. Schreiner "MECHANO-OPTICAL MICRO PILLAR SENSOR FOR BIOFLUIDMECHANIC WALL SHEAR STRESS MEASUREMENTS" in 25th Conference of the European Society of Biomechanics 2019 [PDF]

    D. Berndt, M. Lindner, R. Schreiner, A.V. Pipa, R. Hink, R. Brandenburg, R. Foest, J. Geils, A. Sander, F. Hofmann, D. Matz, A. Baars, A. Kesel, A. Max, R. Caspari "Realization of Multifunctional Surfaces Containing MEMS-based DBD Plasma Actuators and Biomimetic Structures for Flow Manipulation" in AIAA Aviation 2019 Forum [DOI]

    M. Lindner, D. Berndt, B. Jungbauer, I. Ehrlich, R. Schreiner, A.V. Pipa, R. Hink, R. Brandenburg, R. Foest, A. Max, R. Caspari "Fabrication, surface integration and testing of miniaturized dielectric barrier discharge plasma actuators for active flow control applications" in AIAA Aviation 2019 Forum [DOI]

    M. Bachmann, F. Düsberg, S. Edler, C. Langer, F. Herdl, L. Bergbreiter, F. Dams, N. Miyakawa, T. Eggert, A. Pahlke, C. Prommesberger, R. Ławrowski, M. Hausladen, R. Schreiner "Vacuum-sealed field emission electron gun" in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2019 32th International, Cinncinati, USA, July 2019

    J. Bieker, H.F. Schlaak, S. Wilfert,  R. Ławrowski, M. Hausladen, R. Schreiner "Development of FE-based electron sources for XHV ion gauges in cryogenic vacuum environments" in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2019 32th International, Cinncinati, USA, July 2019

    C. Langer, M. Hausladen, V. Bomke, R. Ławrowski, C. Prommesberger, R. Schreiner "Field emission electron source chip for sensor applications fabricated by laser micro machining"  in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2019 32th International, Cinncinati, USA, July 2019

    R. Ławrowski, L. Pirker, M. Remskar, K. Kaneko, H. Kokubo, T. Ikuno, R. Schreiner "Field Emission Behaviour of Semiconductor Disulfide Nanostructures" in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2019 32th International, Cinncinati, USA, July 2019

    R. Ławrowski, S. Linghu, F. Gu, R. Schreiner "Field Emission Behaviour of Single-Crystal Pd Nanowires" in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2019 32th International, Cinncinati, USA, July 2019

    C. Wendt, E. Bunert, M. Bachmann, F. Düsberg, S. Edler, C. Langer, R. Ławrowski, M. Hausladen, R. Schreiner, S. Zimmermann "Application of a new non-radioactive field emission based electron source in ion mobility spectrometry", Conf. Int. Society of Ion Mobility Spectrometry - ISIMS '19, p. 70, Hannover, Germany, July 2019

    M. Bachmann, F. Düsberg, S. Edler, C. Langer, F. Dams, N. Miyakawa, A. Pahlke, R. Ławrowski, M. Hausladen, R. Schreiner, E. Bunert, C. Wendt, S. Zimmermann "Non-radioactive electron source based on a field emitter array" in Conf. Int. Society of Ion Mobility Spectrometry - ISIMS '19, p. 70, Hannover, Germany, July 2019

    F. Düsberg, M. Bachmann, S. Edler, A. Pahlke, C. Langer, C. Prommesberger, R. Schreiner, E. Bunert, C. Wendt, S. Zimmermann "Novel Non-Radiative Electron Source" in 43rd International Symposium of Capillary Chromatography & 16h GC x GC Symposium, Fort Worth, USA, May 2019

    D. Berndt, M. Lindner, K. Tschurtschenthaler, C. Langer, R. Schreiner "Miniaturized Plasma Actuator Flow Measurements by MEMS-Based Thermal Conductivity Sensors” in MDPI Proceedings of Eurosensors 2018, Vol. 13, No. 2 (2018) [DOI]

    M. Lindner, D. Berndt, C. Prommesberger, C. Langer, R. Schreiner "Field emission assisted micro plasma discharges at vacuum and atmospheric pressures” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2018 31th International, 2018, pp. 1-2 [DOI]

    C. Prommesberger, C. Langer, R. Schreiner "Stable and low noise field emission from single p-type Si-tips” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2018 31th International, 2018, pp. 1-2 [DOI]

    P. Serbun, V. Porshyn, G. Müller, D. Lützenkirchen-Hecht, C. Prommesberger, C. Langer, R. Ławrowski, R. Schreiner "Field emission behavior of single n- and p-type black Si pillar structures” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2018 31th International, 2018, pp. 1-2 [DOI]

    P. Serbun, V. Porshyn, D. Lützenkirchen-Hecht, C. Prommesberger, C. Langer, R. Ławrowski, R. Schreiner "Photosensitivity of single silicon high-aspect-ratio tips with different doping levels” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2018 31th International, 2018, pp. 1-2 [DOI]

    R. Ławrowski, C. Langer, R. Schreiner, J. Sellmair "Nano Emitters on Silicon Pillar Structures generated by a Focused Electron Beam Induced Deposition” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2018 31th International, 2018, pp. 1-2 [DOI]

    C. Langer, M. Hausladen, C. Prommesberger, R. Ławrowski, M. Bachmann, F. Düsberg, A. Pahlke, M. Shamonin, R. Schreiner "Field emission current investigation of p-type and metallized silicon emitters in the frequency domain” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2018 31th International, 2018, pp. 1-2 [DOI]

    S. Edler, W. Hansch, C. Prommesberger, R. Schreiner "Influence of adsorbates on the performance of a field emitter array in a high voltage triode setup” in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2018 31th International, 2018, pp. 1-2 [DOI]

    R. Ławrowski, C. Langer, C. Prommesberger and R. Schreiner "Light emitting diodes based on three-dimensional epitaxial grown crystalline GaN rods," in Proc. of MST Kongress, Presented at the MikroSystemTechnik Kongress 2017, VDE Verlag GmbH, Munich, Germany, pp. 131-134. [ISBN 978-3-8007-4491-6]

    R. Ławrowski, C. Langer, C. Prommesberger and R. Schreiner"Microrods and microlines by three-dimensional epitaxially grown GaN for field emission cathodes," in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2017 30th International, 2017, pp. 130-131. [DOI]

    C. Prommesberger, C. Langer, R. Ławrowski and R. Schreiner"Benzocyclobutene as a novel integrated spacer material in a field emission electron source," in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2017 30th International, 2017, pp. 192-193. [DOI]

    M. Bachmann, F. Dams, F. Düsberg, M. Hofmann, A. Pahlke, C. Langer, R. Ławrowski, C. Prommesberger and R. Schreiner "Control of the electron source current," in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2017 30th International, 2017, pp. 66-67. [DOI]

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    C. Langer, C. Prommesberger, R. Ławrowski, R. Schreiner, Y. Huang, and J. She. "Gated p-Si field emission cathode applied in an ionization vacuum gauge," in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2016 29th International, 2016, pp. 145-146. [DOI]

    C. Prommesberger, C. Langer, R. Ławrowski, and R. Schreiner. "Field emission from black silicon structures with integrated gate electrode,"in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2016 29th International, 2016, pp. 219-220. [DOI]

    M. Bachmann, F. Dams, F. Düsberg, M. Hofmann, A. Pahlke, C. Langer, R. Ławrowski, C. Prommesberger, and R. Schreiner. "Extraction of the characteristics of limiting elements from field emission measurement data," in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2016 29th International, 2016, pp. 81-82. [DOI]

    P. Serbun, V. Porshyn, G. Müller, S. Mingels, D. Lützenkirchen-Heicht, M. Bachmann, F. Düsberg, F. Dams, M. Hofmann, A. Pahlke, C. Prommesberger, C. Langer, R. Ławrowski, and R. Schreiner. "Field emission behavior of Au-tip-coated p-type Si pillar structures," in Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2016 29th International, 2016, pp. 181-182. [DOI]